1、工业领域：在表面清洗处理中的应用。

　　由于大功率超高功率低气压 UV 放电管开发的进展，以及随着微电子等产品的超微细化，在微电子、超精密器件等产品的制造过程中，由高频短波紫外线及其产生的臭氧对其产品的表面进行超精密清洗或改善其表面的接着性、附着性的干式光表面处理技术的实用化进展得很快。需要提高成品率的半导体器件、液晶表示元件、光学制品等制造中，紫外线 UV 和 O3 臭氧并用的干式光表面处理技术已成不可缺少的技术手段。作为氟利昂的替代技术，光表面清洗技术将逐渐取代湿式的传统技术。

　　2、生物领域：促进植物生长，诱杀蚊虫。

　　细菌中的脱氧核糖核酸（DNA）、核糖核酸（RNA）和核蛋白的吸收紫外线的最强峰在 257～254nm。细菌吸收紫外线后，引起 DNA 链断裂，造成核酸和蛋白的交联破裂，杀灭核酸的生物活性，致细菌死亡。快速便利，因无物理接触无二次污染。

　　3、紫外线（Ultraviolet）是电磁波谱中波长为400～10nm辐射的总称，不能引起人们的视觉。频率比蓝紫光高的不可见光，英语中ultra-意为意为高于,超越。